无尘车间洁净度检测的全方位剖析1
发表时间:2025-01-13 11:31 无尘车间洁净度检测的全方位剖析一、净化车间的规格 净化车间的规格通常适用于美国联邦规格 No.209B。此规格对净化间的环境要素,如空气洁净度、温湿度、室内压等均进行了规范化设定。随着洁净化程度的不断提升,美国联邦规格经历了改版,如今主要依据洁净度进行分类,最新版为 No.209E,名称也有所变更。 No.209E 的级别表示方式是将 0.5um 以上的颗粒数记为 10x 个/m³,用 X 表示级别,并加上米制 M,例如表示为 M3.5 等。在日本,相应的规格是 JIS B9920,其级别表示是把 0.1um 以上的颗粒数规定为 10X 个,用 Y 表示级别。 二、检测仪器的选用 对无尘车间内的洁净度进行测量,可采用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,其中光散射粒子计数器应用最为广泛。因其能对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时的对应测量,直接显示瞬时含尘浓度,还能测量不同粒径的含尘浓度,使用简便、灵活。该计数器主要有两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。 三、净化车间洁净度检测取样量 在国标 GBJ73-84 中规定,对于 100 级的无尘车间,每次取样量应大于或等于 1L;对于 1000 - 10000 级的无尘车间,每次取样量应大于或等于 0.3L;对于 10000 级的无尘车间,每次取样量应大于或等于 0.1L。对于 100 级无尘车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。若条件不允许,也应采用每次采样量不小于 1L 的粒子计数器。在实际检测工作中,应在满足最小采样量的前提下,根据现有检测设备,尽量选用大流量的尘埃粒子计数器。 四、检测点的布置 依据国家标准 GBJ73-84《洁净厂房设计规范》,在对无尘车间进行洁净度检测时,检测点应位于距室内地坪 1.00m 的水平面上。 五、不同用途所要求的洁净度 净化间的级别一般分为 M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)这 4 个级别。但由于各产业领域的作业工序存在差异,所需的洁净级别也各不相同。比如在半导体制造工厂中,根据作业内容,可能需要 M1(10)至 M5.5(1000)的净化间。而在制药工厂里,根据产品的纯度和作业工序,可能需要从 M3.5 到 M6.5(100,000)等广泛范围的不同级别净化间。 六、总结 综上所述,无尘车间洁净度的检测是一个复杂但至关重要的过程,需要综合考虑净化车间的规格、检测仪器的选择、取样量、检测点布置以及不同用途的洁净度要求等多方面因素。只有在各环节严格遵循相关标准和规范,才能确保无尘车间的洁净度达到预期要求,为生产和科研等活动提供可靠的环境保障。 |