2023-12-20 13:51:47 点击量：
随着科技的迅速发展，半导体芯片已成为现代电子产品的核心部件之一。为了保证半导体芯片的品质和生产效率，洁净室无尘车间的建设变得至关重要。对生产环境空气品质都有较高的要求，空气品质关系着成品率和产品品质。很多半导体工业都需要用到无洁净室。
半导体洁净室原理：
『洁净室』又称为「无尘室」，是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内，而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。
无尘室技术的优势
半导体制造过程的要求非常高，对有灰尘存在的环境是非常敏感的。无尘室技术可以实现很好的环境控制和有效的过滤作用，使得制造过程不受污染或污染度极低。这为半导体制造工艺的高品质、高效率提供了无限的可能性。
在现代半导体产品制造过程中，无尘室技术的关键优点包括：
提高生产效率：无尘室中可以控制温度、湿度、气压等一系列因素，较好地调控制造环境，从而提高生产效率。
降低产品污染率：无尘室中空气中的颗粒物质被精细过滤，污染较少，从而降低了产品污染率。
提高产品品质：无尘室技术可以控制制造环境，保持一个相对恒定的温湿度，从而提高了产品品质。
降低生产成本：通过无尘室技术，可以减少产品的损坏率，提高产品质量。同时，也降低了生产成本。
半导体材料的无尘车间洁净度标准主要分为多个等级，从高到低依次为：100级，1000级，10000级和100000级。其中，100级洁净度标准是最高的，要求非常严格，而100000级洁净度标准相对宽松一些。
100级洁净度标准是半导体材料无尘车间中最高级别的洁净度要求。在这个级别下，空气中的颗粒物浓度要求非常低，每立方英寸空气中粒度等于或高于0.5μm的颗粒总数不会超过100个。此外，对于微生物的要求也非常严格，要求完全无微生物存在。
1000级洁净度标准是相对于100级来说稍微宽松一些的洁净度要求。在这个级别下，空气中的颗粒物浓度要求每立方米大于等于0.5μm灰尘颗粒不能超过1000颗。对于微生物的要求相对较低，允许存在一定数量的微生物。
10000级洁净度标准相对于前两个级别来说，洁净度要求较低。在这个级别下，空气中的颗粒物浓度要求每立方米不能超过10000个。微生物的要求相对较宽松，允许存在一定数量的微生物。
100000级洁净度标准是半导体材料无尘车间中最低级别的洁净度要求。在这个级别下，空气中的颗粒物浓度要求每立方米不能超过100000个。对于微生物的要求相对较宽松，允许存在一定数量的微生物。
洁净室应该具备哪些要素？
基本上「无尘室」应该要具备以下的功能：
1、能去除空气中漂浮之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、能控制温度及湿度。这是因为密闭的环境需要温度及湿度控制以符合人体舒适度，另一方面温度及湿度也可以控制微生物的生长。其次，湿度过大也会影响到电子产品的品质。
4、能调节压力。这是为了要控制无尘室内为正压或负压。
5、能调节温度。
6、能防止静电。这是一定要的，电子产品怕静电了，尤其是还未封装的晶圆。
注：另外还必须考虑到安全因素（包含火灾灭火与紧急状况逃生）
湿度对无尘室的影响
1.细菌生长；2.工作人员感到室温舒适的范围；3.出现静电荷；4.金属腐蚀；5.水汽冷凝；6.光刻的退化；7.吸水性。
半导体制造对温度和湿度的控制要求也非常严格。一般来说，无尘室内的温度控制在20-24摄氏度之间，湿度控制在30-60%之间。温度和湿度的控制对于芯片的性能和可靠性有着重要的影响。
细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。应将湿度控制在处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低，同样也是人类感觉舒适的适度范围。
半导体无尘室标准是一个非常重要的标准，它直接关系到半导体制造的成功与否。通过严格遵守无尘室标准，我们可以保证半导体制造过程中的空气质量、温度和湿度、静电控制等各个方面达到要求，从而保证芯片的制造质量和性能。在今后的半导体制造过程中，无尘室标准将继续发挥重要的作用，为半导体行业的发展提供有力的支持。
智程半导体配备3种等级无尘车间洁净度标准：100级，1000级，10
