洁净室悬浮粒子超标原因与排查方法

常见原因

1. 过滤器问题

HEPA过滤器泄漏或安装密封不严是最常见的原因。

2. 气流组织问题

送风口堵塞、回风口遮挡会导致气流短路，影响粒子排出。

3. 人员操作问题

人员数量超限、洁净服穿戴不规范、动作幅度过大。

4. 设备问题

生产设备本身发尘，或设备维护不当导致污染。

5. 外围环境影响

新风处理不到位，或外围环境发生变化。

排查步骤

1. 检查HEPA过滤器完整性（PAO检漏）

2. 检查送风口和回风口是否有遮挡

3. 检查压差是否正常

4. 检查人员操作是否规范

5. 检查外围环境和新风质量

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