高效过滤器（HEPA/ULPA）是洁净室的核心设备，其完整性直接关系到洁净室的净化效果。PAO气溶胶检漏法是国际通用的高效过滤器完整性检测方法，本文详细介绍其原理和操作流程。

检测原理

PAO（聚α烯烃）气溶胶检漏法的基本原理是：在过滤器上游引入PAO气溶胶颗粒，用光度计或粒子计数器在过滤器下游扫描检测，测量透过过滤器的气溶胶浓度，从而判断过滤器是否存在泄漏。

检测仪器

气溶胶发生器：用于产生PAO气溶胶颗粒，通常有热发生器和冷发生器两种类型。热发生器通过加热使PAO液体蒸发后冷凝形成气溶胶，冷发生器通过压缩空气雾化产生气溶胶。

光度计：检测下游气溶胶浓度的主要仪器，能够快速扫描整个过滤器面。其原理是测量气溶胶颗粒对光的散射强度，从而计算浓度值。

检测步骤

第一步：准备工作。检查过滤器安装是否牢固，密封条是否完好。确认检测仪器已校准且在有效期内。

第二步：上游浓度测试。在过滤器上游注入PAO气溶胶，调节发生器使上游浓度达到检测要求（通常为10-20μg/L）。

第三步：扫描检测。使用光度计在过滤器下游表面以约5cm/s的速度进行扫描，扫描路径应覆盖整个过滤器面、安装框架和密封处。

第四步：结果判定。当光度计读数超过上游浓度的0.01%（即透过率≥0.01%）时，判定为泄漏。

判定标准

HEPA过滤器（H13/H14级）：最大允许透过率不超过0.01%。ULPA过滤器（U15/U16级）：最大允许透过率不超过0.005%。

检测周期建议

新建洁净室投入使用前必须进行100%检漏检测；正常运行的洁净室建议每6-12个月进行一次检测；更换过滤器后必须重新进行检漏检测。