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2026-08-20
尘埃粒子(悬浮粒子)是洁净室环境监测的核心指标,反映空气洁净度等级。尘埃粒子监测通过粒子计数器测量空气中粒子数量,对照ISO 14644-1等级限值判定,是洁净室验证和日常监测的基础。
监测内容:
- 尘埃粒子计数:按粒径通道(≥0.3、0.5、1.0、5.0μm)
- 采样量:按等级要求确定每点采样量
- 采样点:覆盖工作区、关键工序与最差位置
- 等级判定:对照ISO 14644-1或GB/T 16292限值

- 使用激光粒子计数器,采样流量按设备能力
- 采样时间保证采样量满足要求
- 采样前仪器自净与校准确认
- 采样数据记录原始浓度
- 新建、改造车间验收检测
- 年度综合检测
- 动态监测:A级区生产批次全程监测
- 高效过滤器更换后专项检测
江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定,提供洁净室尘埃粒子监测、悬浮粒子检测与环境监测服务。
