超高效过滤器在HVAC系统中的作用

洁净室HVAC系统超高效过滤器（ULPA，U15/U16级）用于超洁净区域（半导体制造、高等级洁净区），去除亚微米颗粒。超高效过滤器验证确认过滤性能，是HVAC系统验证和维护的内容。

过滤器验证

验证要点：

- 超高效过滤器安装

- 过滤器完整性（检漏）

- 过滤器压差

- 过滤效率确认

压差管理

- 超高效过滤器压差记录

- 压差接近终阻力时更换

- 压差异常排查

- 更换后确认压差与风量

维护安排

- 超高效过滤器定期检查

- 完整性检漏（PAO/MPPS）

- 按压差与周期更换

- 与高效过滤器更换衔接

江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定，提供洁净室HVAC系统验证、超高效过滤器检漏与更换确认服务。