洁净后室在洁净室中的作用

洁净后室（洁净区末端的后室、辅助后室、设备后室）是洁净区与辅助区域的过渡空间，后室洁净度影响洁净区环境完整。洁净后室监测确认后室环境，是洁净室环境监测的内容。

监测内容

监测要点：

- 后室悬浮粒子

- 后室微生物

- 后室压差（与洁净区、辅助区）

- 后室温湿度

- 设备后室、检修通道洁净

监测频率

- 后室定期环境监测

- 压差日常确认

- 设备检修后检查

- 与洁净区监测同步

后室管理

- 检修通道、设备后室洁净控制

- 后室门密封

- 后室压差维持

- 后室洁净度保障洁净区完整

江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定，提供洁净室洁净后室监测、环境监测方案制定服务。