碳化硅为什么需要洁净环境

碳化硅（SiC）等第三代半导体功率器件制造涉及外延、光刻、刻蚀等工艺，微粒子与温湿度直接影响器件良率，生产需在高洁净环境进行。碳化硅半导体洁净室检测确认环境满足工艺要求。

检测项目

检测内容：

- 悬浮粒子（各洁净等级）

- 温湿度

- 压差

- 换气次数与风速

- 气流组织

车间管理

- 关键制程洁净等级控制

- 温湿度稳定与防静电

- 人员与物料进出管理

- 高架地板与回风系统维护

检测安排

- 新建产线竣工验收

- 年度环境检测与过滤器检漏

- 工艺调整、改造后复测

- 良率异常时排查环境因素

江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定，提供碳化硅半导体洁净室检测、SiC功率器件生产环境验证服务。