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2026-06
高效过滤器PAO检漏是洁净室维保的核心检测项目。PAO(多分散气溶胶)检漏法是目前最广泛使用的HEPA过滤器完整性检测方法。
在HEPA过滤器上游发PAO气溶胶颗粒,在过滤器下游使用光度计扫描,检测是否有颗粒穿透。
1. 连接PAO气溶胶发生器到过滤器上游
2. 调节气溶胶浓度至10-20μg/L
3. 使用光度计逐点扫描过滤器表面

4. 重点检查过滤器边框密封处
- 下游浓度≤上游浓度的0.01%为合格
- 局部泄漏>0.01%需修复或更换
- A/B级:每6个月一次
- C/D级:每年一次
江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定,提供PAO检漏检测服务。如需获取检测方案和报价,欢迎咨询。
