MEMS器件为什么需要洁净环境

MEMS（微机电系统）传感器涉及光刻、刻蚀、键合等工艺，微粒子、温湿度与静电直接影响器件性能与良率，生产需在洁净环境进行。MEMS传感器洁净室检测确认环境满足工艺要求。

检测项目

检测内容：

- 悬浮粒子（各洁净等级）

- 温湿度

- 压差

- 换气次数与风速

- 气流组织

车间管理

- 关键制程洁净等级控制

- 温湿度稳定与防静电

- 人员与物料进出管理

- 送风与回风系统维护

检测安排

- 新建产线竣工验收

- 年度环境检测与过滤器检漏

- 工艺调整、改造后复测

- 良率异常时排查环境因素

江苏沛询技术有限公司持有CMA资质认定，提供MEMS传感器洁净室检测、MEMS器件生产环境验证服务。